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技术交流

DE500 Sputter 磁控溅射仪直流起辉气压低至0.7mTorr, 直流和射频均可保持在该气压下辉光稳定工作

DE500 Sputter 磁控溅射仪直流起辉气压低至0.7mTorr, 直流和射频均可保持在该气压下辉光稳定工作