技术交流

真空镀膜机有哪些功能作用(含真空镀膜机的操作流程)

DE500 Sputter 磁控溅射仪极限真空度可达≤ 5.0×10-8Torr

DE500 Sputter 磁控溅射仪抽至1E-6Torr的时间约为15分钟，抽至5E-7Torr的时间约为30分钟

DE500 Sputter 磁控溅射仪关机100小时后的真空度可保持在7.5E-2Torr

DE500 Sputter 磁控溅射仪工作气压稳定性优于0.25%，溅射气压下观察不到压力漂移